PSA(반도체용 고순도 황산)

당사는 화학공업에서의 오랜 경험과 축적된 기술을 바탕으로 자체 개발한 반도체용 고순도 황산을 국내외 반도체 생산업체에 공급하고 있습니다. LS MnM 의 PSA는 자체 생산품인 고품질의 L-SO3를 증발시킨 후 초순수에 흡수시켜 제조하며, 수차례 마이크로 필터를 거쳐 크린룸에서 완전 자동 포장함으로써 완벽한 품질과 안정성을 보증합니다. 제련 과정에서 발생하는 아황산가스를 이용해 반도체용 황산을 생산하는 곳은 세계에서 온산공장이 유일합니다.

고청정 환경의 Clean Room에서 운전되는 자동화된 포장설비(Class 10), 최신식 분석장비에 의한 축적된 분석 Know-how는 당사 품질보증체계의 수준을 한층 돋보이게 하는 또다른 자랑거리입니다.

• 연간 생산능력
  150kt
• 용도
  반도체 Wafer Etching 및 Cleaning 용 Photomask 제조용 기타
• 규격

  성분, 단위, 규격

  성분	단위	규격
  H2SO4	%	96.0±0.5
  Ga, Au, Si, As, Ti	ppb	Max 0.1
  B	ppb	Max 0.05
  Li, Be, Na, Mg, Al, K, Ca, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Ge, Sr, Ag, Cd, Sn, Ba, Pb, Hg, Sb, Bi, Mo, Nb, Se, Ta, Tl, V, Zr, W	ppb	Max 0.02

• 출하방법

  출하방법

  출하방법	Tank Lorry Truck (200L Drum)